珀金埃尔默公司 NexION 5000 仪器的技术参数、性能和优点：

技术参数

• 质量分析器：由四组四极杆组成，包括四极杆离子偏转器（Q0）、传输分析四极杆 1（Q1）、四极杆通用池（Q2）和传输分析四极杆 2（Q3）。其中，Q1 和 Q3 为全尺寸四极杆，质量分辨率 < 0.7amu；Q1 和 Q3 也可达到 < 0.3amu 的更高分辨率。

• 检测限：背景等效浓度极低，在高温热等离子体中，BECs<1ppt。

• 数据采集能力：具备快速四极杆扫描和高数据采集能力，四极杆最短驻留时间 10µs1。

• 线性动态范围：扩展动态范围（EDR）技术将线性动态范围提高到 10¹⁴。

• 仪器尺寸：宽 114.0cm，高 85.0cm，深 85.0cm2。

• 仪器重量：191.0kg2。

性能

• 干扰消除能力卓越：四极杆通用池（Q2）具有动态带宽调谐功能，可有效防止与残留反应气体的副反应，能精准调控反应进程。标配轴向场技术，可使用任何所需气体，如纯氨气、氟化甲烷等，通过选择合适的反应模式和气体，能消除多种干扰，在分析高纯酸中的特定元素时，相比传统仪器性能提升 10 倍以上。

• 基体耐受性强：独特的硬件设计，如第二代带 OmniRing™的三锥接口（TCI）技术与四极杆离子偏转器（QID）相结合，使其能分析浓缩和具有挑战性的基质，可处理总溶解固体含量较高的样品，有效防止污染，提高分析效率。

• 分析精度高：可提供极低的背景等效浓度和出色的检测极限，确保了结果的精度和可重现性，能满足半导体、生物监测等领域严苛的痕量和超痕量元素检测要求。例如，在分析高纯度二氧化铈基质中的超痕量稀土元素杂质时，能准确消除相关多原子干扰，满足相关标准要求。

优点

• 操作简便：Syngistix™ for ICP - MS 软件（v3.0 或更高版本）将三重四极杆离子光学技术与自动化、用户友好的工作流程和现代用户界面相结合，操作方便。

• 维护成本低：34MHz 自由运行的射频发生器搭配无需水冷的 LumiCoil™ RF 工作线圈，无需维护且无需更换；三锥接口与四极杆离子偏转器组合除锥体外无需额外维护，减少了维护工作和成本。

• 自动化程度高：具备自动调谐、自动稀释、自动优化等功能，降低了操作人员的工作强度，提高了分析效率。

• 稳定性好：仪器具有出色的长期和短期稳定性，短期稳定性（RSD）≤3%（20 分钟，1ppb 混合溶液、无内标、不同模式间切换）；长期稳定性（RSD）≤4%（4 小时，1ppb 混合溶液、无内标、不同模式间切换）；质谱校正稳定性≤0.025amu/24h。

• 安全性高：可升级 SEMI S2/S8 认证（应急按钮），符合半导体超净间设施集成要求，能确保在相关环境中的安全使用。

• 创新性强：是业界首款多重四极杆 ICP - MS，拥有多项独特技术，如标配四路碰撞反应气，是市场上没有反应气种类和纯度限制且可以进行各种碰撞反应气在线混合的 ICP - MS，也是市场上具有两个独立质量分析器、具有反应池内对反应进程进行精准调控能力的 ICP - MS。